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Nd~(3+):YAG连续激光束用于半导体连续激光退火的研究

石万全  姚德成  刘世祥  朱美芳  贺令渝  陆世勇  刘万忠  王金生  
【摘要】:本文主要介绍如何根据连续激光退火的需要。将Nd~(3+):YAG激光划片机改进和完善成专用连续激光退火设备。简单介绍利用此设备进行激光退火的实验结果。提出研制和生产专用连续激光退火设备的必要性。

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