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离子注入半导体的激光退火

路福荣

【摘要】：本文报导了半导体激光退火在国内外的进展概况,作为离于注入半导体生产工艺的“伴星”,激光退火有可能取代常规的高温退火工艺而被采用。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	何贤文;姜山;何明;阮向东;贺国珠;董克君;李朝历;;检测4.2K低温金属环境下~(210)Po-α衰变半衰期变化的实验方法[J];核技术;2011年07期
2	谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
3	;[J];;年期
4	;[J];;年期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
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16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	卞留芳;陈维德;;铒注入GaN的缺陷研究[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
2	姚存峰;金运范;;20keV的O~(n+)离子在C_(60)薄膜中的注入损伤研究[A];第十三届全国核物理大会暨第八届会员代表大会论文摘要集[C];2007年
3	臧航;王志光;贺朝会;;ZnO薄膜的Bi离子注入/辐照改性研究[A];第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会论文集[C];2010年
4	尹立军;刘昌龙;吕依颖;张晓东;王卓;;40 keV He离子注入单晶Si引起的损伤效应研究[A];第一届中国核技术及应用研究学术研讨会摘要文集[C];2006年
5	张开锡;;Flory模型与激光诱导电晕场构象对聚合物离子注入的混合熵[A];第三届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];1997年
6	周宏余;陆挺;朱光华;汪新福;王超;丁晓纪;陈晓波;吴虎才;宋海;马辉;;低能离子注入生物种子深度浓度分布的TPLSM研究[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
7	李爱国;蔡英文;徐金龙;倪新伯;童永彭;张桂林;;高剂量Fe注入SiO_2单晶的磁、光特性研究[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
8	曹旸;蒋昌忠;;Cu离子注入SiO_2玻璃后光学透射率的变化[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
9	徐二明;梁二军;;非晶硅薄膜激光退火的研究[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
10	周生强;姚淑德;焦升贤;孙长春;孙昌;;GaN的离子辐照效应[A];Hyperfine Interaction and Nuclear Solid State Physics--Proceedings of CCAST (World Laboratory) Workshop[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘成森;等离子体源离子注入及辉光放电过程中脉冲鞘层动力学研究[D];大连理工大学;2005年
2	尹教建;离子注入非线性光学晶体光波导折射率改变模型研究[D];山东大学;2012年
3	肖志松;掺铒硅基薄膜的纳米结构与发光动力学研究[D];北京师范大学;2001年
4	赵金花;离子注入光学晶体波导结构的特性研究[D];山东大学;2011年
5	黄少华;一维半导体纳米线体系的光谱和光学性质研究[D];复旦大学;2006年
6	沈宏;氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用[D];复旦大学;2006年
7	糜岚;掺杂二氧化钛纳米颗粒膜的制备及其可见光催化特性和机理研究[D];复旦大学;2007年
8	吴小山;G_aP_（1-x）N_x与G_aA_（s1-x）N_x合金系的基础研究[D];北京师范大学;1994年
9	杜国龙;全固态离子注入波导晶体切伦科夫型二次谐波理论及激光特性研究[D];山东大学;2011年
10	李天晶;离子注入单晶ZnO，TiO_2基改性和Li_(0.2)Zn_(0.8)O/Al_(0.15)Zn_(0.85)O双层膜光电特性的研究[D];兰州大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王春芬;离子注入杂质在氧化物晶体中的行为研究[D];四川大学;2005年
2	朱仁江;ZnO掺杂及其特性研究[D];重庆师范大学;2006年
3	牛丽芳;碳氮膜的生物相容性以及离子注入对聚丙烯材料的表面改性研究[D];天津师范大学;2002年
4	张婷婷;Mev重离子注入LiNbO_3和KTP波导的制备和研究[D];山东大学;2005年
5	洪根深;离子注入6H-SiC引起的损伤及其光学性质的研究[D];四川大学;2002年
6	黄俊;PECVD制备a-SiC:H薄膜及激光退火研究[D];厦门大学;2009年
7	阳运国;高温超导平面约瑟夫森器件的制备和性能研究[D];重庆大学;2008年
8	秦国平;In-N共掺杂ZnO薄膜的制备及特性研究[D];重庆师范大学;2008年
9	宋长青;非晶硅薄膜的YAG激光退火技术研究[D];南京理工大学;2010年
10	宋建明;非晶态二氧化硅的辐照增强扩散效应研究[D];四川大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前1条

1	北京师范大学低能核物理研究所林文廉;让离子束造福人类[N];科技日报;2002年

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