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干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用

陈凤超  黄佐华  李榕  
【摘要】:干涉条纹周期是干涉精密测量中的一个较为重要的参数。为了可以简单快速而不失准确性地测量条纹周期,采用了图像处理实现干涉条纹周期测量的较为简单实用的算法。通过MATLAB平台设计相应的图像数据处理软件,分析影响条纹周期测量精度的因素,给出处理过程对条纹倾斜度的要求,并应用于相板的位相的定量检测,获得了相板的位相大小。结果表明,测量相位精度达λ/20~λ/50或π/10~π/25。这一结果对位相物体的厚度和折射率的测量有很大的帮助。

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