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ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性

纠智先  张兵临  姚宁  
【摘要】:综述了ZnS的发光机制 ,脉冲激光沉积 (PLD)制备薄膜的原理、特点 ,分析了在用PLD制备ZnS过程中各主要沉积条件对成膜质量的影响 ,展望了ZnS薄膜的应用前景。

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