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脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

胡少六  江超  何建平  王又青  
【摘要】:为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺 ,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术 ,在Si(10 0 )单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜 ,并采用SEM和XPS对制备的薄膜进行了微观分析。分析结果表明 ,运用合适的激光参数和辅助放电 ,在沉积温度 30 0℃时 ,制备出了Al/Ag组分比近似为 5∶1的掺杂梯度薄膜。该实验方法说明 ,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的。

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