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单晶硅的激光铣削试验研究

袁根福  曾晓雁  
【摘要】:采用Nd∶YAG脉冲激光器对单晶硅片进行铣削加工试验。系统研究了工艺参数对铣削量和铣削面质量的影响规律 ,并利用优化的铣削工艺对单晶硅进行了多种形状铣削加工

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