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金刚石薄膜和类金刚石薄膜

刘胜永  张振华  
【摘要】:本文介绍了金刚石薄膜和类金刚石薄膜的制备与薄膜性能分析方法,也介绍了它们的应用前景。本文给出了华北光电所研究类金刚石薄膜的结果。

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