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射频溅射法制红外探测器阵列

尚鐸  
【摘要】:正 1 引言许多实验室都在大力研究和发展制作多元探测器用的新材料和新工艺。在中红外区,发展以禁带宽度窄的半导体材料为基础的本征探测器有很大意义。在此光谱区,

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1 记者 王艳红;南极冰层适合探测高能中微子[N];新华每日电讯;2001年
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