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红外单晶探测器阵列的新技术

【摘要】:文中介绍一种采用禁带宽度窄的半导体晶体制造红外传感用单晶探测器阵列的新技术。元件包括三维单晶元件均采用平面集成技术,此种方法可易于扩展来制造其它的各种半导体器件。

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