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非晶态有机聚合物薄膜脉冲激光沉积

张兵临  马会中  张兰  
【摘要】:非晶态有机聚合物薄膜具有低介电常数,高强度等优良物理特性,在微电子工业领域有着潜在的应用价值而引起人们极大兴趣,本文就其沉积方法及沉积机制进行简要综述,并展望了其应用前景。

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