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脉冲激光退火动力学

仲振  
【摘要】:正 脉冲激光退火是一种用强激光脉冲修复晶态半导体因离子植入而引起的破坏从而改善退火材料结构次序和电气特性的技术。这种技术的机制过去几年是个热烈争论的课题,但是现在从所累积的大量测量证据来看,似乎热模型比非热核型更有利。

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