收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

垂直扫描白光干涉测量数据的各种处理算法及其分析

张倩  崔长彩  周晓林  
【摘要】:为得到被测表面的微观信息,根据垂直扫描白光干涉的特点,以阶高92μm的微流道为测量对象,测出理论上处在不同高度的3个点的干涉数据,使用改进质心算法、相移干涉法、白光干涉法、白光干涉相移法、包络线拟合法等算法从采集到三组干涉数据中提取出每两点之间的相对高度,并对各种算法提取出的相对高度进行比较和分析。结果证明,相对高度为0的情况下,除包络线拟合法误差较大外,其余各种算法的计算结果都比较理想;相对高度为阶高92μm时,白光干涉相移法计算精度最高,实用性较强。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王生怀;王淑珍;陈育荣;谢铁邦;;白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用[J];仪表技术与传感器;2010年02期
2 季家兴;王新龙;;载体运动对星敏感器星点光斑定位的影响分析[J];青岛科技大学学报(自然科学版);2010年02期
3 杨君;张涛;宋靖雁;梁斌;;星点质心亚像元定位的高精度误差补偿法[J];光学精密工程;2010年04期
4 张书朋;李向阳;邓中华;;基于系统识别的RSSI定位算法[J];科学技术与工程;2010年15期
5 周正新;;高清显示技术漫谈[J];电子制作;2010年07期
6 李尧;王石刚;莫锦秋;严蓉蓉;;系泊链全环磁粉自动检测装置设计[J];机械设计;2010年10期
7 唐冠群;;几种激光光斑中心定位算法的比较[J];北京机械工业学院学报;2009年01期
8 蔡白银;曹文田;凌松云;包尚联;;质心引导的最大似然定位算法的模拟[J];中国医学物理学杂志;2009年03期
9 叶仲新;陈育荣;;光针式表面测量系统的研究[J];湖北汽车工业学院学报;2009年04期
10 戴蓉;谢铁邦;龚文;常素萍;;基于垂直扫描显微干涉技术的高精度轮廓仪(英文)[J];Journal of Shanghai University(English Edition);2008年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李成超;曹文田;李军;包尚联;;小动物锥束CT分角度几何校正[A];2010中国医学影像技术国际论坛暨《中国医学影像技术》编委换届会论文集[C];2010年
2 冯其强;;回光反射标志图像中心定位精度仿真分析[A];信息工程大学测绘学院第五届博士生学术论坛论文集[C];2010年
3 韩雷;;光流法在强对流天气临近预报中的应用[A];第26届中国气象学会年会第三届气象综合探测技术研讨会分会场论文集[C];2009年
4 黄旋旋;何彩芬;卢晶晶;;对流风暴的人工智能识别追踪和外推预报方法[A];中国气象学会2008年年会天气预报准确率与公共气象服务分会场论文集[C];2008年
5 李思源;何平安;艾勇;田雪骋;;空间光通信APT中基于CCD的精跟踪图像处理分析[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
6 许建锋;国媛媛;;超声生物显微镜(UBM)在眼外伤疾病诊断中的应用[A];庆祝中国超声诊断50年暨第十届全国超声医学学术会议论文汇编[C];2008年
7 张熹彦;倪江生;;基于DSP的FGB波峰检测算法的研究[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅲ)[C];2008年
8 王平辉;秦涛;郑庆华;管晓宏;蔡忠闽;;基于流量统计特征的端口扫描检测算法[A];全国网络与信息安全技术研讨会论文集(上册)[C];2007年
9 陈良;赵德孜;;基于模糊推理的机械系统可靠性模糊预计[A];大型飞机关键技术高层论坛暨中国航空学会2007年学术年会论文集[C];2007年
10 郝颖明;朱枫;;视觉位姿测量中的点状目标中心自适应定位方法[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 王生怀;区域表面结构非接触测量与特征评定方法研究[D];华中科技大学;2009年
2 郧建平;基于白光干涉的表面形貌接触和非接触两用测量系统的研究[D];华中科技大学;2008年
3 王菁;P2P系统中资源管理机制的研究[D];中国科学技术大学;2007年
4 戴蓉;基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究[D];华中科技大学;2007年
5 陈春雨;有噪声信号对准理论与应用研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 岳鹏远;CCD应用于路基表面沉降测量技术的研究[D];北京交通大学;2009年
2 贾晓龙;智能球型摄像机控制系统软件设计及自动跟踪算法研究与实现[D];南京理工大学;2009年
3 邹剑;光学数码坐标测量精度改进研究[D];天津大学;2009年
4 常红;基于白光扫描干涉术的微结构大范围表征方法研究[D];天津大学;2009年
5 刘爽;无线传感器网络定位算法研究及应用[D];吉林大学;2008年
6 宋富强;基于蜜罐技术的端口扫描检测系统的设计与实现[D];中南大学;2008年
7 李英俊;基于雷达数据的三维风暴体追踪算法研究[D];中国海洋大学;2008年
8 王磊;模糊需求报童问题研究[D];青岛大学;2008年
9 陈丽;基于NIOSⅡ的视频图像处理系统设计[D];北京交通大学;2007年
10 李中原;基于端口和流量分析的局域网安全检测系统的设计与实现[D];浙江大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 颜士宗;家用投影仪市场亮点炫目[N];电脑报;2004年
2 杭州 胡献满;数字彩电及HDTV之我见[N];电子报;2003年
3 ;工业设计在佳能新品中的应用[N];科技日报;2001年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978