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单平行四杆柔性铰链机构的输出位移和耦合误差分析

沈剑英  杨世锡  周庆华  严拱标  曹坚  
【摘要】:本文建立了单平行四杆柔性铰链机构的输出位移和耦合误差的公式 ,并用有限元法分析其主要参数对输出位移和耦合误差的不同影响 ,指出耦合误差的存在对纳米级工作台的定位精度和分辨率有较大的影响。

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