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双重图形成像技术成本与复杂性之战

【摘要】:正今年在SEMICON West的Sokudo光刻早餐论坛上,重点讨论了双重图形成像技术的挑战。可以确定,双重图形成像技术并未解决所有难题,但即便如此,对32nm成像而言,已被认定为最有前景的技术,对22nm成像来说也可能如此。

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