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激光加工微孔的技术研究

高文斌  晏绪光  杨水其  裘明信  陈军  
【摘要】:本文首次报导利用超声调制和带SBS(受激布里渊散射)共轭镜技术的Nd:YAG激光,在激光处于近TEM。模运转的条件下,加工出孔径分别为25μm和20μm的微孔。

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