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非晶硅CCD列阵图像传感器的设计考虑

张坤  温志渝  
【摘要】:文中讨论了非晶硅光电二极管及CCD器件的设计考虑。用α-Si:H光电二极管构成CCD器件的光敏元,提高了光敏单元填充因子,并提出了图像传感器的结构和制作工艺。

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