收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

128元非致冷氧化钒红外探测器的制作

王宏臣  易新建  陈四海  黄光  肖静  
【摘要】:采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为 - 0 .0 2 1K-1的氧化钒薄膜 ,以此为基础 ,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了 12 8元氧化钒红外探测器 .为了降低探测器敏感元与衬底间的热导 ,设计制作了自支撑的微桥结构阵列 .测试结果显示探测器的响应率和探测率在 8~ 12 μm的长波红外波段处分别达到10 4V/W和 2× 10 8cmHz1/ 2 W-1.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静;128元非致冷氧化钒红外探测器的制作[J];红外与毫米波学报;2004年02期
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978