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类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用

范轶敏  居建华  张伟丽  夏义本  王志明  方志军  王林军  
【摘要】:介绍了类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用.类金刚石薄膜隔绝了外界对多孔硅表面的影响,使硅氢键不易断裂,从而减少了非辐射复合中心,稳定了多孔硅的发光性能.通过在类金刚石薄膜中掺氮还可以进一步提高钝化效果,因为氮使多孔硅表面更多的悬空键被钝化形成Si—N键,从而提高了发光强度.

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