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离子束刻蚀光导HgCdTe探测器芯片的温度限制

苏岗  洪锦华  吴思晋  
【摘要】:利用离子束对光导HgCdTe芯片阳极氧化膜、CrΑAu电极和HgCdTe芯片的成形进行刻蚀,要求HgCdTe芯片表面温度不能超过80℃

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