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硅基肖特基势垒红外光学探测器

高编  
【摘要】:正美国专利US7358585 (2008年4月15日授权)本发明提供一种硅基肖特基势垒红外光学探测器,更具体地说,是一种暗电流足够低、能够在室温下有效工作的平面型波导基红外光学探测器,这种探测器是这样制作的:在一个"绝缘体上硅"(SOI)结构的平面硅波导层(也称SOI层)上配置一层硅化物(或其它合适的金属层);在该SOI结构的平面SOI层和硅化物上配置欧姆接点.这样。在平面SOI层内沿光学波导横向传播的光学信号就将从硅化物下面通过,而光学能量的。尾

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