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氮化镓雪崩光电二极管实现紫外光子计数

高国龙  
【摘要】:正 美国麻省理工学院林肯实验室的研究人员利用氮化镓(GaN)雪崩光电二极管实现了紫外光子计数。该器件结构包括一层0.6μm厚的掺硅层、一层非故意掺杂层和一层0.2μm厚的掺锌层,它是在一个垂直的输运氯化物的氢化物汽相外延反应器中长在一层非故意

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