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锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法

【摘要】:正 本发明提供一种锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法。该铁电薄膜材料的前驱体溶液由硝酸锆、钛酸四丁酯、醋酸铅、醋酸、去离子水和氨基酸组成。制备时,先用匀胶机对滴到基片上的前驱体溶液进行甩胶,形成凝胶膜,然后将凝胶膜放在快速退火炉中分段升温进行热处理,重复上述

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