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溅射温度对BCN薄膜质量的研究

王键  
【摘要】:近年来,研究者们对硬质薄膜的研究越来越广泛,而BCN薄膜由于其优异的性能深的研究者的青睐,其应用的范围也是极其广泛。本文主要通过射频磁控溅射法制备BCN薄膜,在溅射功率,气体流量,工作气压保持不变的前提下改变沉积温度,通过原子力显微镜,傅里叶红外析光谱,台阶仪表征手段对薄膜进行分析。

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1 涂建勇;刘永胜;成来飞;张立同;杨文彬;徐永东;张伟华;;稀释气体流量对低压化学气相沉积硼掺碳涂层的影响[J];固体火箭技术;2008年04期
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