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反应磁控溅射方法制备BCN薄膜的高温抗氧化性

陈向阳  张瑾  胡海霞  马胜利  
【摘要】:为了考察BCN薄膜的高温抗氧化,用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了BCN硬质薄膜材料,用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电镜(SEM)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)和显微硬度计等方法研究了BCN薄膜的高温抗氧化行为。结果表明:BCN薄膜在500℃以下具有较好的抗氧化性能,氧化温度高于600℃,薄膜被严重氧化,薄膜中C含量的增加使薄膜的高温抗氧化性能降低。分析认为,薄膜在500℃以下氧化时,氧气在薄膜内的扩散比较困难,薄膜不易被氧化;当氧化温度高于600℃时,由于薄膜中的C-C键和C-N键被氧化,在薄膜中留下较多的微孔,这些微孔能为氧气扩散提供快速通道,加速薄膜的氧化。

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