微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究
【摘要】：定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源，主要有微机械结构的 Ｂｒｏｗ ｎｉａｎ 噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
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