收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究

李万玉  阮爱武  罗晋生  冯培德  
【摘要】:定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源,主要有微机械结构的 Brow nian 噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李文望;微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计[J];华侨大学学报(自然科学版);2001年04期
2 李文望,孙道恒;微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计[J];机械与电子;2001年06期
3 朱一纶 ,王寿荣 ,周伟;微机械音叉陀螺驱动电路的研究[J];测控技术;2003年08期
4 路文一;崔芳;冯立辉;孙雨南;;石英音叉陀螺机械及静电耦合误差的消除[J];北京理工大学学报;2009年05期
5 阮爱武,李万玉,冯培德;硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系[J];传感器技术;1998年01期
6 谢立强;吴学忠;李圣怡;;石英微陀螺的机械耦合问题研究[J];国防科技大学学报;2007年01期
7 施芹;裘安萍;苏岩;朱欣华;;硅微陀螺仪的机械耦合误差分析[J];光学精密工程;2008年05期
8 杨波;王寿荣;李宏生;黄丽斌;李坤宇;殷勇;;解耦硅微陀螺仪的结构误差分析和系统性能测试(英文)[J];纳米技术与精密工程;2010年06期
9 陈建元;;电容式微机械陀螺敏感信号采样检测[J];中国惯性技术学报;2008年02期
10 菲利普J.克拉斯 ,时杰;芯片式微型惯性传感器[J];国际航空;1998年11期
11 王莹,孙雨南,秦秉坤,崔芳;微石英音叉陀螺角速度信号提取方法的研究[J];北京理工大学学报;2003年02期
12 王莹,孙雨南,秦秉坤,印平;微石英音叉陀螺激励与检测电极的研究[J];北京理工大学学报;2001年04期
13 路文一;崔芳;闫海;冯立辉;孙雨南;;石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析[J];微细加工技术;2008年05期
14 路文一;崔芳;冯立辉;孙雨南;;石英音叉陀螺阻抗特性的实验研究[J];北京理工大学学报;2009年07期
15 林烨,莫锦秋;新型双级解耦合微机械陀螺设计与仿真[J];计算机仿真;2005年04期
16 包宁;振动圆柱陀螺[J];上海航天;1984年05期
17 李万玉,阮爱武,罗晋生;关于提取微机械陀螺仪输入角速度的研究[J];传感器技术;1999年02期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 谭淞;基于Σ△原理的MEMS陀螺高精度模数转换技术[D];长春理工大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978