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小型非球面光学元件测量技术研究

王美成  廖广兰  史铁林  
【摘要】:非球面光学元件应用越来越广泛,其测量技术非常关键。本文研究了小型非球面光学元件的各种面形测量方法,针对其测量原理进行了分类和对比,对其优缺点和适用范围进行了讨论,同时分析了各种测量方法实现的关键技术和面临的挑战。

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