硅片在快速热处理系统中的温度测量

【摘要】：国外为了提高计算机硅片的集成度和产品的合格率，开展了硅片快速热处理的研究，在这项新技术中温度测量起着关键的作用。由于在快速热化学蒸汽沉积过程中，硅片表面发射率变化影响了测温的准确性。本文介绍了在用辐射法测温时，同时测辐射量和反射率2个参数，然后由反射率计算发射率，通过计算机对测量结果进行补偿的新技术。并介绍了原理、实验设备和初步实验结果。

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3	王鹏;赵俭;;三偶补偿法在瞬态高温气流测量中的应用[J];计测技术;2011年04期
4	胡鸿志;;基于新型温度传感器的数字温度计设计[J];电子测量与仪器学报;2011年08期
5	侯素兰;王浩;;JJF1262-2010《铠装热电偶》校准规范解读[J];中国计量;2011年08期
6	李芸彤;赵冰;;水三相点瓶的人工冻制方法[J];品牌与标准化;2011年Z1期
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9	兰玉岐;姜迎春;陈光明;骆明强;朱晓彤;;MF5602型低温热敏电阻温度计的特性研究[J];低温工程;2011年04期
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11	师文龙;;多声道超声波热量表在热源厂热量结算中的应用[J];供热制冷;2011年09期
12	王颖;;局浸式玻璃温度计的示值修正[J];中国计量;2011年09期
13	张海涛;罗珊;郭涛;;热电偶冷端补偿改进研究[J];仪表技术与传感器;2011年07期
14	沈洋;;浅析红外测温仪[J];科技信息;2011年20期
15	王艳;许红玉;陈兆学;;医学动植物实验用热电偶测温装置的设计[J];中国组织工程研究与临床康复;2011年33期
16	赵瑞丽;;浅析热电偶参比端温度的处理及误差[J];中国铸造装备与技术;2011年04期
17	吴坤;;热电偶补偿导线使用方法[J];广西轻工业;2011年07期
18	张晓文;;生化分析仪计量检定规程中存在问题的探讨[J];计量与测试技术;2011年06期
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3	范金鹏;;湿度计量标准的现状和挑战[A];中国计量测试学会温度计量专业委员会2005年年会论文集[C];2005年
4	李中发;梁先宇;蔡谷明;彭义;瞿亮;;微型量热仪智能化研究[A];04'中国企业自动化和信息化建设论坛暨中南六省区自动化学会学术年会专辑[C];2004年
5	刘希民;;热电偶线性温度测量装置[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（一）[C];2007年
6	张平;;铠装热电偶的分流误差[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
7	韩增祥;王海清;;热/机械疲劳试验中的温度测量[A];全国第八届热疲劳学术会议论文集[C];2004年
8	刘希民;;基于电流法的热电阻温度测量装置[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（一）[C];2007年
9	李操;付跃刚;孙丽;;物体表面发射率对红外测温精度的误差分析[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅲ）[C];2008年
10	王强;王少凯;林百科;王民明;赵阳;李烨;曹建平;臧二军;方占军;;锶原子光钟二级冷却的前期实验[A];2009全国时间频率学术会议论文集[C];2009年

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7	王娅莉;热力灭菌计量参数校准规范研讨会在京召开[N];中国质量报;2005年
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10	陈洁;代表最新油罐容积表校准方案的AccuChart技术[N];中国石油报;2004年

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