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立体微细光刻技术

苑伟政  邓修瑾  张春江  
【摘要】:介绍了立体微细光刻技术研究的意义、发展趋势、工作原理和基本实现方法,旨在促进此项高新技术的应用发展.

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中国期刊全文数据库 前20条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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9 刘建国;谷物干燥机微机自动监控系统的研究[D];东北农业大学;2002年
10 陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 于明坤;吉林:万台微机进军营[N];中国社会报;2011年
2 沈义;别让班组的微机闲着[N];工人日报;2003年
3 记者 达娃 通讯员 伏显强;我市“两项制度”有效衔接工作所有数据进行微机录入[N];拉萨晚报;2011年
4 ;1977年4月我国第一台微机诞生[N];中国计算机报;2009年
5 祁建国 张良;警惕微机带来的“危机”[N];中国石化报;2004年
6 崔力争;常用微机者应“补眼”[N];中国医药报;2001年
7 记者郭丽冰 通讯员赵冬红;不会使用微机就待岗[N];秦皇岛日报;2009年
8 安徽 储飞龙;微机如何防止雷击[N];中国计算机报;2001年
9 于明坤 记者 孙春艳;万台微机进军营[N];吉林日报;2011年
10 通讯员 田得铭 叶晓芳;蕲春地税局为干部职工设置“微机套餐”[N];黄冈日报;2007年
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