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变间距光栅刻线密度的测试精度分析

陈锵  王秋平  余小江  周洪军  王琪民  
【摘要】:介绍了衍射法测量变间距光栅线密度的测量系统。该测量系统由激光器、准直镜、光栅转动台(含角度测量仪)、直线工作台、光栅调节架、探测器和待测光栅组成。分析了系统中各种误差对测量精度的影响,以及变间距光栅参数的变化对光学系统的影响和补偿办法。计算表明,该系统的测试精度满足光束线对光学系统的性能要求。

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