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微波离子源聚焦离子束光学系统的研究

施立群  彭士香  冯慧云  陈斌  胡纯栋  王邵虎  余增亮  
【摘要】:设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统,分析计算了该光学系统的束径,并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应,找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法。测试结果表明,在束能为25keV时,束流为148nA,束径约为20μm左右。

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