微波离子源聚焦离子束光学系统的研究
【摘要】：设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统，分析计算了该光学系统的束径，并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应，找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法。测试结果表明，在束能为２５ｋｅＶ时，束流为１４８ｎＡ，束径约为２０μｍ左右。
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张二力;甄汉生;吴锦发;;微波等离子体技术在微电子学工艺中的应用[J];真空科学与技术学报;1985年06期 |
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林书铨;微波能应用的新发展[J];电工电能新技术;1986年04期 |
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;新技术 新产品[J];机电信息;1995年08期 |
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;新技术 新产品[J];机电信息;1995年08期 |
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施立群,余增亮,冯慧云,彭士香,胡纯栋;小型腔式微波离子源的研制[J];原子能科学技术;1997年03期 |
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施立群,王绍虎,冯慧云,彭士香,余增亮;小型腔式微波离子源的等离子体产生及引出特性[J];真空科学与技术学报;1997年06期 |
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施立群,冯慧云,杨安葆,彭士香,余增亮;小型腔式微波离子源的表面波放电模型[J];原子能科学技术;1998年01期 |
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施立群,彭士香,冯慧云,陈斌,胡纯栋,王邵虎,余增亮;微波离子源聚焦离子束光学系统的研究[J];核技术;1999年01期 |
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岳成波,闫锡杰,景士伟,刘林茂;微波离子源磁路设计[J];物理实验;1999年06期 |
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刘林茂,景士伟,古力,李文生,张弛;强流中子管微波离子源微波吸收效率的实验研究[J];核技术;2001年10期 |
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宋执中;于金祥;郭之虞;明建川;袁忠喜;彭士香;王忠义;;永磁微波离子源[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年 |
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宋执中;于金祥;彭士香;钱锋;徐蓉;袁忠喜;郭之虞;;永磁微波离子源和RFQ用低能注入器进展[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年 |
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