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PIC/MCC数值模拟四阳极直流辉光放电

袁忠才  时家明  
【摘要】:利用OOPIC代码并结合MCC方法考察四阳极低气压直流辉光放电中粒子间的碰撞,并对其进行了数值模拟。首先分析OOPIC代码的计算流程,给出模拟的边界条件和时间、空间步进;然后对所得到的等离子体密度、温度的分布情况进行了分析。结果表明,放电气压、电流以及环电极的有效宽度均影响等离子体密度和温度的径向分布。当气压为300Pa时,电子密度在径向较大范围内是均匀分布的,而当气压升高到800Pa时,其径向不均匀增大,且总的密度和电子的平均温度下降。放电电流的增大使得等离子体密度和温度均相应升高。但环电极有效宽度的减小使得等离子体密度的分布更不均匀,并使总的密度和平均温度均下降。

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