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用于测量低密度等离子体的三厘米微波干涉仪

张宏荫  徐德明  李启瑞  孙文森  
【摘要】:本文叙述了一种以条纹干涉仪为原理的测量低密度等离子体的微波干涉仪,用它测量了低气压放电产生的等离子体电子密度的时间变化。实验结果表明,此干涉仪能分辨0.5°的相移,相当于等离子体的线度为10厘米时可测平均电子密度最低为10~9/厘米~3。

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