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磁控溅射玄武岩纤维基纳米Cu薄膜微观结构分析的研究

徐文正  魏取福  杨莉  魏安方  凤权  
【摘要】:采用直流磁控溅射法在玄武岩纤维表面沉积纳米Cu薄膜,工作气体为氩气,利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察Cu薄膜在纤维表面的微观结构,并较为系统地分析了磁控溅射工艺参数对Cu薄膜表面颗粒尺寸、表面粗糙度等的影响,采用X射线能谱仪(EDX)分析了溅射前后表面各元素的含量。结果表明:随着溅射功率的增大,溅射时间的延长其表面颗粒的团聚增强;溅射压强增大会导致表面粗糙度增大;基底温度的升高会导致Cu粒子热迁移现象,表面粗糙度增大,但对表面裂纹的产生有一定的改善,并利用AFM测试了裂纹的宽度和深度。

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