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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

郭方敏  朱守正  魏华征  郑莹  朱荣锦  忻佩胜  朱自强  赖宗声  杨根庆  陆卫  
【摘要】:MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。

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