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应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究

张鸿海  曹伟  江福祥  李文菊  周学夫  师汉民  陈日曜  
【摘要】:本文描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜.当用管状扫描器工作时,测量范围可达2×2μm2,能获得原子级的分辨率.当用新开发的宽范围工作台扫描时,测量范围可为140×140μm2,分辨率可在1~100nm之间调节.

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