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超光滑表面无损检测轮廓仪

杨甬英  卓永模  
【摘要】:本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪,无需标准参考面;利用双焦干涉作非接触无损检测;利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音;计算机控制测量,即时给出表面粗糙度参数,与WYKO比对,结果吻合.仪器特别适合于均方根值Rq为纳米及亚纳米量级的软质金属材料及膜层表面测试.其横向分辨率为1μm,纵向分辨率为0.1nm.

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