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“硬脆材料超快激光精密加工”专辑导读

孙洪波  陈岐岱  
【摘要】: <正>玻璃、陶瓷、硅、金刚石和蓝宝石等硬脆材料由于其优良的机械、物理和化学性能而得到广泛应用。在国防、航空航天和电子制造等前沿领域,这类材料由于其较高的硬度和较低的塑性使得传统的机械加工等方式难以达到预期的加工精度和表面粗糙度;而光刻等方式其工艺较为复杂,

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