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全息平面变间距光栅位移传感器研究

楼俊  付绍军  刘正坤  徐向东  何世平  李秉实  吴忠  
【摘要】:基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05mm,相对误差可以控制在0.2%FS之内,优于设计指标.

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