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平面变线距光栅(VLS)的基本原理与线距修正系数的检测

王劼  付绍军  朱向冰  洪义麟  徐向东  
【摘要】:变线距光栅是一种自消部分象差的光学元件。本文提出了用激光束检测变线距系数的理论模型。计算表明变线距光栅的衍射波与平面波的干涉条纹可以用于检测变线距系数.

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