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光学显微镜与CCD监视器组合的原子力显微镜

章海军  黄文浩  涂承杰  褚家如  
【摘要】:研制了一种与光学显微镜结合并配置 CCD 监视器的原子力显微镜,可同时获得样品的原子力显微镜图象及光学图象.已能分辨出5纳米的精细结构,最大扫描范围可达2μm.文中给出了本仪器获得的一些样品图象结果.

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