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制作低损耗光学纤维的化学气相沉积过程的简单分析

刘德森  
【摘要】:本文根据化学气相沉积过程的质量输送模型提出了一个无量纲的常数,它可以标志沉积过程的基本状态。文章还对从SiCl_4中沉积SiO_2的过程作了简单分析,最后简单介绍了实验装置,并得出了几点结论。

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