电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术

【摘要】：介绍了电磁激励Si微反射镜偏转的光开关的结构,工作原理和制作技术。光开关单元由单晶Si反射镜板、A1弹簧、A1格子、磁性材料、夹持电极、锁挡、矩形杠杆和外磁场组成。通过控制光开关单元的箝位电压、夹持电压和外磁场,可实现独立寻址的光开关阵列。器件制作使用了表面和体微机械工艺(如电镀、体湿法腐蚀和XeF2的深反应离子腐蚀等)工艺。这种器件可实现任一反射镜偏转角的光开关,最大偏转角可达90°。这种光开关是目前极力推崇的全光网络光开关。

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前10条

1	宋金声;高健飞;;移动光纤式光开关的试制[J];光纤与电缆及其应用技术;1982年04期
2	余国梁;张景梅;徐思道;;棱镜位移式光开关的试制[J];光纤与电缆及其应用技术;1982年05期
3	宋金声;高健飞;;GK-01型光开关的设计[J];光纤与电缆及其应用技术;1983年02期
4	陈小明;一种使用1×6光开关的新型光传输系统[J];光通信技术;1984年03期
5	吴茂林;;采用新薄膜材料的光开关[J];电子技术;1984年07期
6	高健飞;;V形槽准直系统在机械式光开关中的应用[J];光纤与电缆及其应用技术;1984年05期
7	艾恕;;纯光开关[J];激光与红外;1986年03期
8	曹望和;;集成光学InGaAsP/Inp光开关[J];液晶与显示;1987年04期
9	蔡耀斌;微型发光开关[J];固体电子学研究与进展;1990年02期
10	郑能,陆荣鑫,蔡伯荣,曹泽煌;钛扩散铌酸锂1×4集成光开关[J];电子学报;1990年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	贾玉斌;陈良惠;李玉璋;;一种微机械光开关理论分析[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
2	赵永鹏;叶培大;;控制脉冲初始调啾对NOLM孤子光开关的影响[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议（OFCIO’2001）论文集[C];2001年
3	宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议（OFCIO’2001）论文集[C];2001年
4	雒仲祥;彭勇;陈天江;;信标实验中的高消光比光开关设计[A];中国工程物理研究院科技年报[C];2001年
5	李美菊;陈向东;陈芳;何治柯;沈萍;;利用核酸分子“光开关”Ru(phen)_2(dppz)~(2+)检测细菌释放DNA[A];首届中国青年学者微生物遗传学学术研讨会论文摘要集[C];2002年
6	黄景元;农学勤;胡勇康;;2×2单模光开关研制与应用[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
7	王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
8	王黎蒙;;磁光型1×2偏振光开关的性能分析[A];第三届中国光通信技术与市场研讨会论文集[C];2003年
9	沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议（OFCIO’2003）论文集[C];2003年
10	明安杰;梁静秋;董玮;陈维友;王立军;王维彪;;基于MOEMS的自由空间8×8光开关相关技术研究[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议（OFCIO’2003）论文集[C];2003年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	黄旭涛;GaAs/GaAlAs材料双异质结BOA型光开关研究[D];浙江大学;2001年
2	何晓东;光子晶体及其应用的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
3	梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2003年
4	卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
5	董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
6	陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
7	罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
8	王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2003年
9	曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
10	鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	冯晓强;基于细菌视紫红质光致变色特性的原型器件研究[D];西北大学;2000年
2	田燕宁;细菌视紫红质光学非线性及近场光学特性研究[D];西北大学;2000年
3	刘东栋;一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究[D];浙江大学;2002年
4	许高攀;用于光纤通信的MEMS光开关[D];厦门大学;2002年
5	黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
6	占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
7	冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
8	荆振国;基于光波导开关的光纤水听器时分复用[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2003年
9	袁野;非硅基微机械光开关及可调光衰减器的设计，制作与分析[D];浙江大学;2004年
10	赵龙;Ti：LiNbO_3波导光开关研究[D];浙江大学;2004年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	兰荷;21世纪家居是啥样？[N];安徽经济报;2000年
2	吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
3	中兴通讯北京研究所汪一心博士;光分插复用系统及应用[N];通信产业报;2000年
4	烽火通信科技股份有限公司副总裁李广成;光交换/光路由铸就全光网络[N];网络世界;2000年
5	;光交叉连接（OXC）技术[N];人民邮电;2001年
6	胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
7	樊哲高;“光谷”会跌入低谷吗[N];中国电子报;2002年
8	本报记者曾艳涛;采用模块化结构连接OTDR[N];计算机世界;2002年
9	周剑琦;解读全光网[N];计算机世界;2002年
10	记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年

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