收藏本站
收藏 | 投稿 | 论文排版

电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究

谢平  李斌  刘定权  张素英  
【摘要】:为了探寻碲锗铅(Pb_(1-x)Ge_xTe)薄膜的最佳沉积方式,在硅基片上采用电子束蒸发沉积碲锗铅(Pb_(0.78)Ge_(0.22)Te)薄膜。使用X射线衍射(XRD)、电子扫描显微镜(SEM)、能量散射X射线分析(EDAX)等手段对薄膜的微结构和化学配比特性进行了分析。发现碲锗铅薄膜为多晶结构,具有明显的择优取向,晶粒多为矩形,薄膜中未出现其它相关氧化物。与热蒸发膜层相比,电子束蒸发沉积的膜层有更为完善的晶体结构。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 田维;郭巧杭;;溅射气压对Ti/Al多层膜结构和热稳定性的影响[J];实验室研究与探索;2011年07期
2 吴先权;华文深;谢大兵;赵莉君;;基于改进型遗传算法的薄膜厚度及光学常数反演[J];光学仪器;2010年03期
3 李伟;廖运文;毛丽君;刘育芳;张林慧;姜宁;;(1-x)Bi_(0.5)(Na_(0.8)K_(0.2))_(0.5)TiO_3-xNaSbO_3无铅压电陶瓷微结构与电学性能研究[J];西华师范大学学报(自然科学版);2011年02期
4 王念秦;罗东海;姚勇;陈效星;杨建国;;马兰黄土动强度及其微结构变化实验[J];工程地质学报;2011年04期
5 查甫生;刘松玉;杜延军;崔可锐;;改良膨胀土的微结构变化规律电阻率法研究[J];工业建筑;2011年08期
6 王孝东;张锦龙;马彬;焦宏飞;丁涛;程鑫彬;;高损伤阈值三倍频分离膜[J];强激光与粒子束;2011年07期
7 郝殿中;韩培高;宋连科;;衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);2011年03期
8 郭海军;仇满德;宋常英;翟永清;姚玉超;;不同的制备方法对纳米TiO_2微结构及光催化性能的影响[J];河北大学学报(自然科学版);2011年04期
9 薛锦;王平秋;刘琼;代礼密;;掺杂Gd_2O_3对ZrO_2薄膜负非均匀性的影响[J];光学仪器;2009年06期
10 廖春艳;范正修;邵建达;;Cr∶LiSAF飞秒激光器中Gires-Tournois镜的设计[J];光子学报;2011年08期
11 董仲美;汤非;曹雪萍;景文珩;邢卫红;;超声场对钛溶胶及其材料微结构的影响[J];化学反应工程与工艺;2010年05期
12 张锋;郝殿中;;基板温度对电子束沉积LaF_3薄膜紫外性能的影响[J];聊城大学学报(自然科学版);2011年01期
13 刘敏;高汝伟;;HDDR Nd_2Fe_(14)B磁粉微结构和磁性能研究[J];磁性材料及器件;2011年04期
14 高鹏;阴晓俊;胡雯雯;赵帅锋;王瑞生;于振毅;徐秋玲;费书国;;《光学和光学仪器-光学薄膜》新国标的制定[J];光机电信息;2011年09期
15 郝会颖;李伟民;曾湘波;孔光临;廖显伯;;沉积气压对相变域硅薄膜性能的影响[J];功能材料;2011年08期
16 吴蓉;李蓉萍;何志刚;安晓晖;李忠贤;;Dy掺杂对ZnSe薄膜微结构的影响[J];稀土;2011年03期
17 毕仁能;项伟;郭义;李涛涛;王菁莪;;库岸滑坡黏性土与河水物理化学作用试验研究[J];长江科学院院报;2011年07期
18 刘先恭;周继昌;徐北辰;杨雨青;张开德;;联合开放,增强活力——开放实验室的一种新探索[J];实验技术与管理;1993年02期
19 ;“长江学者”——龚旗煌[J];科协论坛;2006年04期
20 汪小小;夏齐萍;吕建国;宋学萍;孙兆奇;;氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响[J];真空科学与技术学报;2011年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2 洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3 姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4 王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
5 王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
6 闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7 林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8 饶觉陶;梁瑾青;李科;;光学薄膜保护封闭漆[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
9 张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
10 龚伟;王波;祁宁;麦亦勇;刘黎明;;超支化聚合物微结构的正电子研究[A];第九届全国正电子谱学会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李杨;季节冻土水分迁移模型研究[D];吉林大学;2008年
2 范协诚;MRAlO_4(M=Sr,Ca;R=La,Nd,Sm,Y)微波介质陶瓷的基础问题及其改性[D];浙江大学;2008年
3 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
4 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
5 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
7 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
8 刘汉强;高性能Nd-Fe-B永磁材料的微结构与磁性能[D];山东大学;2005年
9 孔祥东;电子束液态曝光技术的研究[D];山东大学;2005年
10 彭美勋;球形氢氧化镍的微结构形成机理与电化学性能[D];中南大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
7 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10 邓洪祥;高功率激光作用下光学薄膜的场损伤研究[D];电子科技大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
2 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
3 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 罗静;研讨微结构科技 庆祝冯端八十华诞[N];人民日报海外版;2003年
7 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
8 ;微结构陶瓷[N];中华建筑报;2000年
9 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
10 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978