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等离子辅助成膜技术

林永昌  尤大纬  李晓谦  沈立新  郑陪雨  
【摘要】:等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术,报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标,用这个源制造的TiO2 膜工艺与成膜质量,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。

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