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激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统

杨甬英  卓永模  徐敏  
【摘要】:介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪,该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm~±30mm的球面进行扫描驱动及采样,并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全。

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