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条纹计数式干涉测长仪的闲区误差及其全误差实时补偿

陈明仪  
【摘要】:本文根据参考文献中导出的全误差分布公式,再次论述了“闲区误差”的物理本质及特点,业提出了可供实用的全误差实时补偿公式及其可能获得的效果。

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