收藏本站
收藏 | 投稿 | 论文排版

a-C∶H(N)类金刚石薄膜的结构及内应力分析

陈建国  程宇航  吴一平  乔学亮  
【摘要】:采用射频等离子增强化学气相沉积法制备出a-C∶H(N)类金刚石薄膜 ,用X射线光电子能谱、红外吸收谱和慢正电子湮灭谱研究了薄膜的结构 ,用弯曲法测定了薄膜的内应力 .随着混合气体中N2 的含量从 0增加到 75 % ,薄膜中含N量可增加到 9.0 9% (摩尔分数 ) ,N原子与C原子以%DC—N ,C N和C≡N键的形式结合 .薄膜中的缺陷密度随含N量而增加 ,而薄膜的内应力则随着薄膜中N含量的增加而单调降低

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 吴琼;引人注目的新材料——金刚石薄膜[J];电子元件与材料;1990年02期
2 王昕,张江泉,陈宝珠,马玉蓉;类金刚石薄膜折射率的测量[J];数据采集与处理;1992年S1期
3 王秋良,王又青,安承武;脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜[J];激光技术;1998年02期
4 王海荣,王永发,王焕杰,张伟,王季陶;类金刚石薄膜的生长研究[J];固体电子学研究与进展;1988年04期
5 马会中,张兰,张兵临,胡欢陵;类金刚石薄膜冷阴极场发射研究进展[J];光电子.激光;1999年01期
6 薛松生,范正修,干福熹;金刚石薄膜研究进展述评[J];激光与红外;1989年06期
7 喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心;脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的特性[J];真空科学与技术学报;2000年02期
8 严学俭,梁风;离子能流密度对类金刚石薄膜成膜的影响[J];真空科学与技术学报;2000年02期
9 喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心;脉冲多弧离子镀技术制备的类金刚石薄膜的硬度及电阻率[J];真空电子技术;1999年04期
10 马会中,张兰,姚宁,李运均,毕兆琪,王小平,张兵临,胡欢陵;掺氮对类金刚石薄膜场发射的影响[J];电子与信息学报;2001年11期
11 刘胜永,张振华;金刚石薄膜和类金刚石薄膜[J];激光与红外;1991年05期
12 范轶敏,居建华,张伟丽,夏义本,王志明,方志军,王林军;类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用[J];红外与毫米波学报;2002年S1期
13 白婷;叶景峰;刘晶儒;王晟;叶锡生;王立君;;利用脉冲准分子激光在ZnS上沉积类金刚石薄膜[J];中国激光;2007年07期
14 马志斌,邬钦崇,舒兴胜,汪建华,王传新;类金刚石薄膜的Raman光谱分析及红外光谱特性[J];真空电子技术;2000年05期
15 马玉蓉,张胜;用激光等离子体气相沉积法制备类金刚石薄膜及光学性质研究[J];量子电子学报;1993年03期
16 张贵锋,刘正堂,郑修麟;类金刚石薄膜作为MgF_2红外增透和保护膜的研究[J];光电子技术;1996年02期
17 许俊芬,居建华,戴雯琦,夏义本;类金刚石薄膜中杂质Fe对其力学性能的影响[J];功能材料;2000年01期
18 梅显秀,徐军,马腾才;利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究[J];物理学报;2002年08期
19 欧阳钢,郭建,颜晓红;PLD法制备纳米类金刚石薄膜及衬底温度的影响[J];光电子.激光;2004年12期
20 ;晶体与微声材料[J];电子科技文摘;2006年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
2 胡芳;代明江;林松盛;;微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
3 梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4 熊礼威;;星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
5 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;化学气相沉积类金刚石薄膜摩擦学性能的研究[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
6 阎兴斌;徐洮;王博;王晓波;杨生荣;;聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
7 姜金龙;郝俊英;刘维民;;Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8 张万虎;谭宇;师建涛;刘永强;胡仓陆;黄祥成;;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
9 王艳丽;苏克和;王欣;刘艳;;金刚石晶体掺杂B、N、P、Al、Si的abinitio研究[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
10 周鸿飞;马洪涛;;使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2 李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
3 王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
4 李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
5 尹路;渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究[D];第四军医大学;2008年
6 刘凡新;高密度硬盘磁头用超薄类金刚石薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年
7 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
8 高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
9 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜及其场发射性能研究[D];兰州大学;2009年
10 龚峰;T2紫铜薄板微成形摩擦尺寸效应与润滑研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 夏天荣;脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中工艺参数对薄膜质量影响的研究[D];合肥工业大学;2010年
2 赵茜;用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究[D];电子科技大学;2011年
3 骆仕丹;类金刚石薄膜的相变参数研究和应用[D];西南交通大学;2010年
4 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
5 唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
6 吴远方;AZ91镁合金表面类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究[D];南京理工大学;2010年
7 黄国俊;硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究[D];西安工业大学;2011年
8 庞见华;微波ECR等离子体增强溅射制备类金刚石薄膜及沉积过程的等离子体在线诊断[D];大连理工大学;2012年
9 邓兴瑞;钴合金人工关节类金刚石薄膜表面改性[D];西南交通大学;2010年
10 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜场发射机理的研究[D];兰州大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978