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深度同步辐射光刻初探

田扬超  傅绍军  洪义麟  阚娅  陶晓明  
【摘要】:LIGA技术被认为是制作微机械最有前途的方法,而LIGA技术较为关键的一步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展,刻蚀出了外圆直径为38μm~39μm,叶长约8μm,高约25μm的扇叶状微结构元件.inGerman:Lithografie,Galvanoformung,AbformungFig.ISEMofPMMAfanetchedbydeep"etchs-c,nt’hrotronradiationljthography参考文献

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1 王永林;冼鼎昌:同步辐射越关山[N];科技日报;2002年
2 卢敬叁;同步辐射计量标准研究取得新成果[N];中国质量报;2004年
3 高普;中科院高能所同步辐射室纳米研究获进展[N];中国有色金属报;2002年
4 本报记者 郑千里;建同步辐射实验平台与生物学家结成联盟[N];科技日报;2001年
5 ;吴小山:新型材料科学的探索者[N];江苏科技报;2008年
6 管晶晶;法在琥珀中发现356种古昆虫[N];科技日报;2008年
7 本报记者 王海磬;恪尽职守 不辱使命[N];光明日报;2005年
8 仇方迎 胡胜友;中国科大:力促科教一体化[N];中国矿业报;2005年
9 记者 胡其峰 齐芳;北京正负电子对撞机重大改造工程通过国家竣工验收[N];光明日报;2009年
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