收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

沉积温度对氧化钇稳定氧化锆薄膜残余应力的影响

肖祁陵  贺洪波  邵淑英  邵建达  范正修  
【摘要】:采用自制掺摩尔分数12%的Y2O3的ZrO2混合颗粒料为原料,在不同的沉积温度下用电子束蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜样品。利用ZYGOMarkⅢ-GPI数字波面干涉仪对氧化钇稳定氧化锆薄膜的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度对残余应力的影响。实验结果表明:随沉积温度升高,氧化钇稳定氧化锆薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大;用X射线衍射仪表征了不同沉积温度下氧化钇稳定氧化锆薄膜的微观结构,探讨了薄膜微观结构与其应力的对应关系,并对比了纯ZrO2薄膜表现出的应力状态。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 周言敏;李建芳;王君;袁勇;梅高国;;宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜的研究[J];重庆电子工程职业学院学报;2011年03期
2 吴素勇;龙兴武;黄云;杨开勇;;灵敏度控制思想在主动膜系设计中的快速实现算法(英文)[J];强激光与粒子束;2011年06期
3 吴素勇;龙兴武;杨开勇;黄云;;光学多层薄膜反向工程中局部优化算法的性能分析[J];光学学报;2011年06期
4 林远芳;黄强盛;茹启田;孙硕;郑晓东;;椭偏参数测量误差对薄膜参数测试精度的影响[J];浙江大学学报(工学版);2011年08期
5 闫金良;张易军;李清山;曲崇;张丽英;李厅;;射频磁控溅射法制备N掺杂β-Ga_2O_3薄膜的光学特性(英文)[J];光子学报;2011年06期
6 郭淑兰;王敏;徐学东;李佳;;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜的ICP刻蚀及性能研究[J];微电子学;2011年04期
7 徐绍亮;庞晓露;杨会生;张波萍;;射频反应磁控溅射法制备ZnO:Al透明导电薄膜的光电性能[J];稀有金属材料与工程;2011年S1期
8 蔡志海;底月兰;张平;;活塞环表面Cr/CrN纳米多层膜的微观结构与摩擦学性能[J];沈阳工业大学学报;2011年04期
9 魏秋平;王钰言;陈中;刘培植;余志明;;W18Cr4V高速钢渗铬热处理对HFCVD金刚石膜生长的影响[J];中国有色金属学报;2011年07期
10 周爱萍;张化福;刘汉法;;溅射功率对铝铬共掺杂氧化锌透明导电薄膜特性的影响(英文)[J];人工晶体学报;2011年03期
11 罗乐;储雅琼;秦娟娟;方晓东;方尚旭;陶汝华;;用脉冲激光沉积法在Al_2O_3上沉积类金刚石薄膜[J];红外与激光工程;2011年06期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘杰;李永强;李允公;闻邦椿;;波动时效机理的动力学研究[A];振动利用技术的若干研究与进展——第二届全国“振动利用工程”学术会议论文集[C];2003年
2 汪洪海;郑启光;丘军林;熊贵光;田德成;;激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
3 唐武;房永思;邓龙江;徐可为;;微波集成电路中Au/NiCr/Ta多层薄膜残余应力的研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
4 陈冷;张建升;;金刚石薄膜X射线弹性常数的计算[A];第十二届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2008年
5 杨轶;张宁欣;任天令;刘理天;;硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二)[C];2005年
6 黄振海;毛华群;欧阳海华;顾素兰;;长输管道局部凹陷应力分析[A];第六届全国压力容器学术会议压力容器先进技术精选集[C];2005年
7 唐海军;杨传仁;陈宏伟;张继华;冯术成;;后处理工艺对BST薄膜残余应力的影响的分析[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
8 蔡志海;张平;赵军军;杜军;;BN_x过渡缓冲层对磁控溅射c-BN薄膜残余应力的影响研究(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
9 蔡志海;张平;赵军军;杜军;;BN_x过渡缓冲层对磁控溅射c-BN薄膜残余应力的影响研究[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
10 王庆华;谢惠民;冯雪;戴福隆;;膜基结构通电作用下的力学行为分析[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高超;用于太阳电池的硫化物半导体薄膜的溶液法制备及其性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
2 焦兴利;BiFeO_3外延薄膜电容器与异质结的制备和性能研究[D];中国科学技术大学;2010年
3 吕建国;溶胶—凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的微结构及其性能表征[D];安徽大学;2011年
4 彭丽萍;In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2010年
5 刘超前;薄膜织构和残余应力表征及取向铁电薄膜的性能[D];哈尔滨工业大学;2009年
6 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
7 周艳军;掺杂改性二氧化钛薄膜的制备及其光学性能研究[D];天津大学;2010年
8 陈江博;PLD制备InGaZnO薄膜及其物理性质研究[D];北京工业大学;2012年
9 杨靖霞;CuInSe_2和TiO_2半导体薄膜的液相法制备及其异质结构特性[D];天津大学;2010年
10 邸玉贤;多孔硅力学性能的光力学方法与数值模拟研究[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 章莎;用纳米压痕法表征电沉积镍镀层薄膜的残余应力[D];湘潭大学;2006年
2 张彤;自支撑硼掺杂金刚石膜生长及其硼分布、应力的研究[D];吉林大学;2009年
3 何美荣;脉冲磁控溅射制备MgZrO复合介质膜的结构与性能[D];西安理工大学;2007年
4 杨磊;氮化物薄膜的制备及其结构与性能研究[D];华中师范大学;2011年
5 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
6 陈勇;硅基二氧化铈薄膜的脉冲激光制备及性能研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
7 孙新利;半导体氧化铁薄膜的制备、表征及光伏特性研究[D];杭州电子科技大学;2009年
8 赵景训;ITO薄膜的制备及其性能研究[D];大连交通大学;2010年
9 张继凯;磁控溅射镀制Al_2O_3薄膜及其应用[D];西安工业大学;2010年
10 汪宇炎;改性TiO_2薄膜的制备及性能研究[D];浙江理工大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 记者刘其丕 李晓飞;天津薄膜光学重点实验室成立[N];中国有色金属报;2010年
2 宋洪锁;高质量滚塑包装箱的研究和生产[N];中国包装报;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978