脉冲激光制备类金刚石薄膜及原位激光等离子体发射光谱
【摘要】：用 YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶 ,可以形成包含碳素的激光等离子体 ,并在硅或石英衬底上淀积形成某种类型的碳膜。用光学多道分析仪原位测量了激光等离子体的发射光谱 ,给出反应空间可能存在的反应基团有碳原子、碳离子、碳分子等 ,用拉曼光谱研究了薄膜的结构 ,证明所形成的薄膜为类金刚石膜 ,并得出碳原子和碳离子与薄膜的类金刚石结构有关。制备过程中 ,氢的参与有利于薄膜中金刚石成分的形成。空间分辨的原位激光等离子体发射光谱表明 ,在反应空间存在薄膜形成的最佳位置
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