收藏本站
收藏 | 投稿 | 论文排版

脉冲激光制备类金刚石薄膜及原位激光等离子体发射光谱

马玉蓉  郭骅  方容川  
【摘要】:用 YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶 ,可以形成包含碳素的激光等离子体 ,并在硅或石英衬底上淀积形成某种类型的碳膜。用光学多道分析仪原位测量了激光等离子体的发射光谱 ,给出反应空间可能存在的反应基团有碳原子、碳离子、碳分子等 ,用拉曼光谱研究了薄膜的结构 ,证明所形成的薄膜为类金刚石膜 ,并得出碳原子和碳离子与薄膜的类金刚石结构有关。制备过程中 ,氢的参与有利于薄膜中金刚石成分的形成。空间分辨的原位激光等离子体发射光谱表明 ,在反应空间存在薄膜形成的最佳位置

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 丁正明,张志明,许欢南;离子束溅射沉积类金刚石薄膜[J];人工晶体学报;1988年Z1期
2 李忠奇,姜杰,刘成赞,李正芬;类金刚石薄膜的制备、特性及应用[J];光学学报;1990年11期
3 丁正明,张志明,许欢南;离子束溅射沉积类金刚石薄膜[J];人工晶体学报;1990年01期
4 马玉蓉,王昕,张江泉,郭骅,方容川;用YAG激光制备类金刚石薄膜及其光学折射率研究[J];光学学报;1994年12期
5 宋强,邢中菁,沈元华,应萱同;类金刚石薄膜红外光学常数的计算机拟合[J];光学学报;1995年08期
6 张贵锋,刘正堂,耿东生,许念坎,郑修麟;有明显金刚石结构特征的类金刚石薄膜的制备方法[J];西北工业大学学报;1995年02期
7 李铁军,刘晶儒,王丽戈;XeCl(308nm)脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜[J];光学学报;1997年03期
8 王秋良,王又青,安承武;脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜[J];激光技术;1998年02期
9 陈建国,程宇航,吴一平,许大庆,乔学亮;类金刚石薄膜内应力的测试[J];理化检验.物理分册;1998年02期
10 朱昌,严一心,杭凌侠;类金刚石薄膜在红外光学材料中的应用[J];西安工业学院学报;1998年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 贺小明;李文治;及开元;李恒德;;双离子束增强沉积类金刚石碳膜的摩擦磨损性能的研究[A];第二届全国青年摩擦学学术会议论文专辑[C];1993年
2 居建华;夏义本;张伟丽;余璐;王林军;史为民;;类金刚石薄膜/HgCdTe晶体界面应力的有限元分析[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 袁镇海;付志强;林松盛;邓其森;;类金刚石薄膜的新进展[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
4 刘志凯;廖梅勇;姚振钰;柴春林;杨少延;王占国;;质量分离低能离子束制备极光滑类金刚石薄膜[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 冷永祥;黄楠;孙鸿;陈俊英;万国江;王进;;真空弧源沉积类金刚石薄膜及其性能研究[A];第九届全国生物材料学术会议(CBMS-9)论文集[C];2002年
6 陈俊英;黄楠;杨萍;冷永祥;万国江;王进;孙鸿;P.K.Chu;;等离子体浸没离子注入合成DLC薄膜的血小板黏附研究[A];第九届全国生物材料学术会议(CBMS-9)论文集[C];2002年
7 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
8 阎兴斌;徐洮;王博;王晓波;杨生荣;;聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
9 张万虎;谭宇;师建涛;刘永强;胡仓陆;黄祥成;;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
10 梅显秀;马腾才;董闯;;强流脉冲离子束烧蚀等离子体沉积类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
3 李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
4 李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
5 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
2 欧阳钢;脉冲激光沉积法制备纳米功能薄膜的形膜条件及其性能研究[D];湘潭大学;2004年
3 于海涛;表面光极化散射特性的测量和模化技术研究[D];西安电子科技大学;2005年
4 叶景峰;类金刚石薄膜抗激光辐照性能实验研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 陈达;PLD制备类金刚石薄膜及其发光特性研究[D];曲阜师范大学;2006年
6 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜场发射机理的研究[D];兰州大学;2006年
7 陈朝平;增强型脉冲离子源的研制[D];西安工业大学;2006年
8 周祎;离子辅助中频非平衡磁控溅射制备类金刚石薄膜[D];东北大学;2006年
9 张艳;rf PECVD法在不锈钢表面沉积类金刚石碳膜的性能研究[D];东北大学;2006年
10 王党社;类金刚石薄膜光学特性测量与参数反演[D];西安电子科技大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978